項(xiàng)目

HD-U3020E

HD-U4030E

HD-U5040E

測(cè)量行程（mm）

300*200*200

400*300*200

500*400*200

儀器重量（Kg）

300

320

350

測(cè)量精度（μm）

E_（x，Y）:3+L/200   E_（Z）:5+L/200  (L單位mm）

重復(fù)精度（μm）

3

玻璃承載（Kg）

30

放大倍率

光學(xué)放大倍率0.7~4.5X，影像放大24~156X

（可擴(kuò)展至12-312X）

光柵尺分辨率

玻璃光柵尺，分辨率0.5μm

CCD

1/3高分辨率彩色相機(jī)600TVL

傳動(dòng)方式

臺(tái)灣精密級(jí)滾珠絲桿及導(dǎo)軌

運(yùn)動(dòng)控制

臺(tái)灣臺(tái)達(dá)，伺服電機(jī)

面光源

3區(qū)8環(huán)LED冷光源，亮度可調(diào)

輪廓光源

平行光路LED冷光源，亮度可調(diào)

測(cè)量軟件

自動(dòng)測(cè)量軟件

操作方式

程序控制+搖桿

選購(gòu)件

電腦、MCP測(cè)頭、自動(dòng)變焦鏡頭、激光測(cè)頭

工作環(huán)境

溫度：20℃±2℃,濕度30-80%，遠(yuǎn)離振動(dòng)：＜0.002g，低于15Hz

電源

單相AC 220V/50Hz/10A